Tehnički konzultant RSM-a će s vama podijeliti prednosti cilindričnih i planarnih magnetronskih meta za raspršivanje?U usporedbi s drugim metama za magnetronsko raspršivanje, cilindrične i planarne mete za magnetronsko raspršivanje zadržavaju prednosti dobre ujednačenosti premaza pravokutnih planarnih meta i mogu maksimalno povećati iskoristivost meta na sljedeća dva načina:
(1) Kada dvije skupine (četiri) prstenastih udubljenja na površini mete dosegnu određenu dubinu, jezgra mete (dio magneta) može se rotirati za 45° u odnosu na cijev mete, tako da ostala područja na cijevi mete koji nisu korodirani mogu se koristiti;
(2) Kada je ciljna jezgra cilindrične i planarne magnetronske mete za raspršivanje dizajnirana kao rotirajuća jezgra mete (jezgra mete rotira tijekom raspršivanja), površina mete može se ravnomjerno raspršiti sloj po sloj bez udubljenja.U ovom trenutku, cilj će se koristiti najučinkovitije, a stopa iskorištenja cilja može doseći 50% ~ 60% Kada je ciljni materijal plemeniti metal, to je očito od velikog značaja.
Upotrebom principa magneta s polovnom papučicom u koaksijalnoj cilindričnoj magnetronskoj meti za raspršivanje kako bi se riješio problem krajnjeg magnetskog polja, pravokutna ravna meta može se transformirati u cilindričnu i ravnu magnetronsku metu za raspršivanje, meta može maksimizirati stopu iskorištenja mete uz zadržavanje dobre ujednačenosti premaza pravokutne ravne mete kako bi se poboljšale ekonomske koristi.
Vrijeme objave: 4. srpnja 2022