Kako bi se podržala industrija piezoelektričnih MEMS (pMEMS) senzora i radiofrekventnih (RF) filtarskih komponenata na bazi filma, aluminijska skandijeva legura koju proizvodi Rich Special Material Co., Ltd. posebno se koristi za reaktivno taloženje filmova aluminijeva nitrida dopiranih skandijem .
Tankoslojni piezoelektrični materijali sve se više koriste u automobilskoj, industrijskoj i osobnoj elektroničkoj opremi.Primjene uključuju senzore otiska prsta temeljene na pmt-u i uređaje za prepoznavanje gesta, MEMS mikrofone, kemijske senzore temeljene na rezonatoru i medicinske senzore.Osim toga, filmovi aluminijeva nitrida dopirani skandijem sve su potrebniji za realizaciju RF filtara za 5G mrežne aplikacije.Istodobno se povećava količina aluminijske skandijeve legure.
Svojstva Al Sc legure
Vrlo konzistentna kemijska homogenost u cijeloj leguri
Visoko postojana kemijska homogenost filma tijekom životnog vijeka čipa i legure
Čistoća>99,9%, nizak sadržaj kisika, nizak kritični sadržaj zagađivača
Strogo kontrolirajte mikrostrukturu kako biste postigli najbolje rezultate raspršivanja
Vakuumski lijevana, potpuno gusta legura s niskim prianjanjem, malom varijabilnošću i malom granularnošću
Rich Special Material Co., Ltd. podržava razne usluge taljenja legura, ciljane prilagodbe i istraživanja i razvoja.
Vrijeme objave: 11. studenog 2022