Kao što svi znamo, postoji mnogo specifikacija meta za raspršivanje, a njihova područja primjene također su vrlo široka.Vrste meta koje se obično koriste u različitim područjima također su različite.Danas naučimo o klasifikaciji područja primjene meta za raspršivanje s urednikom RSM-a!
1、 Definicija mete raspršivanja
Raspršivanje je jedna od glavnih tehnologija za pripremu tankoslojnih materijala.Koristi ione proizvedene iz izvora iona za ubrzavanje i skupljanje u vakuumu kako bi se stvorio ionski snop velike brzine, bombardirao krutu površinu, a ioni izmjenjuju kinetičku energiju s atomima na krutoj površini, tako da atomi na krutoj površini površine se odvajaju od krutine i talože na površinu podloge.Bombardirana krutina je sirovina za pripremu tankog filma nanesenog raspršivanjem, koji se naziva meta za raspršivanje.
2、 Klasifikacija polja primjene mete za raspršivanje
1. Poluvodička meta
(1) Uobičajene mete: uobičajene mete u ovom području uključuju metale s visokim talištem kao što su tantal / bakar / titan / aluminij / zlato / nikal.
(2) Upotreba: uglavnom se koristi kao ključne sirovine za integrirane krugove.
(3) Zahtjevi za performanse: visoki tehnički zahtjevi za čistoću, veličinu, integraciju itd.
2. Cilj za ravni zaslon
(1) Uobičajeni ciljevi: uobičajeni ciljevi u ovom području uključuju aluminij / bakar / molibden / nikal / niobij / silicij / krom itd.
(2) Upotreba: ova vrsta mete uglavnom se koristi za razne vrste filmova velike površine kao što su televizori i prijenosna računala.
(3) Zahtjevi za performanse: visoki zahtjevi za čistoćom, velikom površinom, ujednačenošću itd.
3. Ciljni materijal za solarnu ćeliju
(1) Uobičajeni ciljevi: aluminij / bakar / molibden / krom /ITO/Ta i drugi ciljevi za solarne ćelije.
(2) Upotreba: uglavnom se koristi u "prozorskom sloju", barijernom sloju, elektrodi i vodljivom filmu.
(3) Zahtjevi za performanse: visoki tehnički zahtjevi i širok raspon primjene.
4. Cilj za pohranu informacija
(1) Uobičajene mete: uobičajene mete od kobalta / nikla / ferolegura / kroma / telura / selena i drugih materijala za pohranu informacija.
(2) Upotreba: ova vrsta ciljanog materijala uglavnom se koristi za magnetsku glavu, srednji sloj i donji sloj optičkog pogona i optičkog diska.
(3) Zahtjevi za performanse: potrebna je velika gustoća pohrane i velika brzina prijenosa.
5. Cilj za modifikaciju alata
(1) Uobičajene mete: uobičajene mete kao što su legura titana/cirkonija/kroma i aluminija modificirana alatima.
(2) Upotreba: obično se koristi za površinsko ojačavanje.
(3) Zahtjevi za performanse: zahtjevi za visoke performanse i dug životni vijek.
6. Mete za elektroničke uređaje
(1) Uobičajene mete: uobičajene mete od aluminijske legure/silicida za elektroničke uređaje
(2) Namjena: općenito se koristi za tankoslojne otpornike i kondenzatore.
(3) Zahtjevi za performanse: mala veličina, stabilnost, niski temperaturni koeficijent otpora
Vrijeme objave: 27. srpnja 2022