Rich Special Material Co., Ltd. može proizvesti aluminijske mete za raspršivanje visoke čistoće, mete za raspršivanje od bakra, mete za raspršivanje od tantala, mete za raspršivanje od titana itd. za industriju poluvodiča.
Poluvodički čipovi imaju visoke tehničke zahtjeve i visoke cijene za mete za raspršivanje.Njihovi zahtjevi za čistoćom i tehnologijom raspršivača su viši od onih za ravne zaslone, solarne ćelije i druge primjene.Poluvodički čipovi postavljaju iznimno stroge standarde za čistoću i unutarnju mikrostrukturu meta za raspršivanje.Ako je sadržaj nečistoća u meti za prskanje previsok, formirani film ne može zadovoljiti potrebna električna svojstva.U procesu prskanja, lako je formirati čestice na pločici, što rezultira kratkim spojem ili oštećenjem strujnog kruga, što ozbiljno utječe na performanse filma.Općenito govoreći, cilj raspršivanja najveće čistoće potreban je za proizvodnju čipova, što je obično 99,9995% (5N5) ili više.
Mete za raspršivanje koriste se za izradu slojeva barijere i slojeva metalnih žica za pakiranje.U procesu proizvodnje pločice, meta se uglavnom koristi za izradu vodljivog sloja, barijernog sloja i metalne rešetke pločice.U procesu pakiranja čipova, meta za raspršivanje koristi se za stvaranje metalnih slojeva, slojeva ožičenja i drugih metalnih materijala ispod neravnina.Iako je količina ciljanih materijala korištenih u proizvodnji pločica i pakiranju čipova mala, prema SEMI statistici, trošak ciljnih materijala u procesu proizvodnje pločica i pakiranja iznosi oko 3%.Međutim, kvaliteta mete za prskanje izravno utječe na ujednačenost i performanse vodljivog sloja i sloja barijere, čime utječe na brzinu prijenosa i stabilnost čipa.Stoga je meta za prskanje jedna od osnovnih sirovina za proizvodnju poluvodiča
Vrijeme objave: 16. studenog 2022