Trenutačno, gotovo sve vrhunske bakrene mete ultra-visoke čistoće koje zahtijeva IC industrija monopolizira nekoliko velikih stranih multinacionalnih kompanija.Sve ultračiste bakrene mete koje su potrebne domaćoj IC industriji potrebno je uvesti, što nije samo skupo, već je i komplicirano u uvoznim procedurama. Stoga Kina hitno mora poboljšati razvoj i verifikaciju bakrenih meta za raspršivanje ultravisoke čistoće (6N). .Pogledajmo ključne točke i poteškoće u razvoju bakrenih meta ultra-visoke čistoće (6N).
1、Razvoj materijala ultra visoke čistoće
Tehnologija pročišćavanja Cu, Al i Ta metala visoke čistoće u Kini daleko je od one u industrijski razvijenim zemljama.Trenutačno većina metala visoke čistoće koji se mogu nabaviti ne može zadovoljiti zahtjeve kvalitete integriranih sklopova za mete za prskanje prema konvencionalnim metodama analize svih elemenata u industriji.Broj uključivanja u cilj je previsok ili neravnomjerno raspoređen.Čestice se često stvaraju na pločici tijekom prskanja, što dovodi do kratkog spoja ili prekida interkonekta, što ozbiljno utječe na performanse filma.
2、Razvoj tehnologije pripreme meta za raspršivanje bakra
Razvoj tehnologije pripreme meta za prskanje bakrom uglavnom se usredotočuje na tri aspekta: veličinu zrna, kontrolu orijentacije i jednolikost.Industrija poluvodiča ima najviše zahtjeve za mete za raspršivanje i isparljive sirovine.Ima vrlo stroge zahtjeve za kontrolu veličine zrna površine i kristalne orijentacije mete.Veličina zrna mete mora se kontrolirati na 100μ M ispod, stoga su kontrola veličine zrna i sredstva korelacijske analize i detekcije vrlo važni za razvoj metalnih meta.
3、Razvoj analize itestiranje tehnologija
Visoka čistoća mete znači smanjenje nečistoća.U prošlosti su se za određivanje nečistoća koristile induktivno spregnuta plazma (ICP) i atomska apsorpcijska spektrometrija, ali posljednjih godina postupno se kao standard koristi analiza kvalitete tinjajućeg pražnjenja (GDMS) s većom osjetljivošću. metoda.Metoda omjera rezidualnog otpora RRR uglavnom se koristi za određivanje električne čistoće.Njegov princip određivanja je procjena čistoće osnovnog metala mjerenjem stupnja elektronske disperzije nečistoća.Budući da se radi o mjerenju otpora na sobnoj temperaturi i vrlo niskoj temperaturi, jednostavno je uzeti broj.Posljednjih godina, kako bi se istražila suština metala, vrlo su aktivna istraživanja ultravisoke čistoće.U ovom slučaju, RRR vrijednost je najbolji način za procjenu čistoće.
Vrijeme objave: 6. svibnja 2022