Kako poboljšati stopu iskorištenja materijala za ciljanje molibdena

Mete od raspršenog molibdena naširoko su korištene u elektroničkoj industriji, solarnim ćelijama, staklenim premazima i drugim područjima zbog svojih inherentnih prednosti.S brzim razvojem moderne tehnologije u minijaturizaciji, integraciji, digitalizaciji i inteligenciji, uporaba molibdenskih meta nastavit će se povećavati, a zahtjevi kvalitete za njih također će postajati sve viši.Dakle, moramo pronaći načine za poboljšanje stope iskorištenja molibdenskih meta.Sada će urednik RSM-a predstaviti nekoliko metoda za poboljšanje stope iskorištenja raspršenih molibdenskih meta za sve

1. Dodajte elektromagnetsku zavojnicu na poleđini

Kako bi se poboljšala stopa iskorištenja raspršene molibdenske mete, elektromagnetska zavojnica može se dodati na stražnju stranu planarne Magnetron raspršene molibdenske mete, a magnetsko polje na površini molibdenske mete može se povećati povećanjem struje elektromagnetske zavojnice, kako bi se poboljšala stopa iskorištenja molibdenske mete.

2. Odaberite materijal cjevaste rotirajuće mete

U usporedbi s ravnim metama, odabir cjevaste strukture rotirajuće mete ističe značajne prednosti.Općenito, stopa iskorištenja ravnih meta je samo 30% do 50%, dok stopa iskorištenja cjevastih rotirajućih meta može doseći i preko 80%.Štoviše, kada se koristi rotirajuća šuplja cijevna magnetronska meta za raspršivanje, budući da se meta može cijelo vrijeme okretati oko sklopa magneta s fiksnom šipkom, neće doći do ponovnog taloženja na njegovoj površini, tako da je vijek trajanja rotirajuće mete općenito više od 5 puta duži nego kod cilja u ravnini.

3. Zamijenite novom opremom za prskanje

Ključ za poboljšanje stope iskorištenja ciljnih materijala je dovršenje zamjene opreme za raspršivanje.Tijekom procesa raspršivanja materijala za raspršivanje molibdena, otprilike jedna šestina raspršenih atoma taložit će se na zid ili nosač vakuumske komore nakon što ih pogode vodikovi ioni, povećavajući troškove čišćenja vakuumske opreme i vrijeme prekida rada.Dakle, zamjena nove opreme za raspršivanje također može pomoći u poboljšanju stope iskorištenja molibdenskih meta za raspršivanje.