Sada moramo biti dobro upoznati s metom, sada se i ciljno tržište povećava, sljedeće je glavna izvedba mete za raspršivanje koju dijeli urednik iz RSM-a
Čistoća
Čistoća ciljnog materijala jedan je od glavnih pokazatelja učinkovitosti, jer čistoća ciljnog materijala ima veliki utjecaj na performanse tankog filma.Međutim, u praktičnoj primjeni, zahtjevi čistoće ciljnih materijala nisu isti.Na primjer, s brzim razvojem mikroelektroničke industrije, veličina silicijskih čipova je razvijena sa 6”, 8” na 12”, a širina ožičenja smanjena je s 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um ili čak 0,13 um.Prethodno, čistoća ciljanog materijala od 99,995% može zadovoljiti zahtjeve procesa od 0,35 umIC.Čistoća ciljanog materijala je 99,999% ili čak 99,9999% za pripremu linija od 0,18 um.
Sadržaj nečistoća
Nečistoće u ciljnoj krutini te kisik i vodena para u porama glavni su izvori onečišćenja taloženja filma.Ciljni materijali za različite namjene imaju različite zahtjeve za različitim sadržajem nečistoća.Na primjer, mete od čistog aluminija i aluminijskih legura koje se koriste u industriji poluvodiča imaju posebne zahtjeve za sadržaj alkalnih metala i radioaktivnih elemenata.
Gustoća
Kako bi se smanjila poroznost u ciljanoj krutini i poboljšala izvedba filma za raspršivanje, obično je potrebna visoka gustoća mete.Gustoća mete ne utječe samo na brzinu raspršivanja nego i na električna i optička svojstva filma.Što je veća ciljna gustoća, to je bolja izvedba filma.Osim toga, povećanje gustoće i čvrstoće mete čini da meta bolje podnosi toplinski stres u procesu raspršivanja.Gustoća je također jedan od ključnih pokazatelja učinka cilja.
Veličina zrna i granulometrijska struktura
Meta je obično polikristalna s veličinom zrna u rasponu od mikrometra do milimetra.Za istu metu, brzina raspršivanja mete s malim zrncima je brža od one s metom s velikim zrnima.Distribucija debljine filmova nanesenih metom za raspršivanje s manjom razlikom u veličini zrna (ujednačena distribucija) je jednoličnija.
Vrijeme objave: 4. kolovoza 2022