Dobrodošli na naše web stranice!

Sputtering mete sa stražnjim uvezom

Proces uvezivanja ploče:

 

1、 Što je uvezivanje uvezivanje?Odnosi se na korištenje lema za zavarivanje ciljnog materijala na stražnju metu.Postoje tri glavne metode: prešanje, tvrdo lemljenje i vodljivo ljepilo.Ciljno vezivanje obično se koristi za tvrdo lemljenje, a materijali za tvrdo lemljenje obično uključuju In, Sn i In Sn.Općenito, kada se koriste mekani materijali za lemljenje, snaga prskanja mora biti manja od 20 W/cm2.

 

2、 Zašto vezati 1. Spriječiti neravnomjernu fragmentaciju ciljnih materijala tijekom zagrijavanja, kao što su krhke mete kao što su ITO, SiO2, keramika i sinterirane mete;2. Uštedite * * * i spriječite deformacije.Ako je materijal mete preskup, može se učiniti tanjim i vezati za stražnju metu kako bi se spriječila deformacija.

 

3、 Odabir stražnje mete: 1. Rich Special Materials Co., Ltd. obično koristi bakar bez kisika dobre vodljivosti, a toplinska vodljivost bakra bez kisika bolja je od one crvenog bakra;2. Debljina je umjerena, a općenito se preporučuje debljina stražnje mete od oko 3 mm.Pregusto, troši nešto magnetske snage;Pretanak, lako se deformira.

 

4、 Proces uvezivanja 1. Prethodno obradite površinu ciljnog materijala i stražnju metu prije uvezivanja.2. Postavite ciljni materijal i stražnju metu na platformu za lemljenje i povisite temperaturu do temperature vezivanja.3. Metalizirajte materijal mete i stražnju metu.4. Spojite materijal mete i stražnju metu.5. Hlađenje i naknadna obrada.

 

5、 Mjere opreza za korištenje vezanih meta: 1. Temperatura prskanja ne smije biti previsoka.2. Struju treba polako povećavati.3. Rashladna voda koja cirkulira mora biti ispod 35 stupnjeva Celzijusa.4. Prikladna ciljna gustoća

 

6、 Razlog za odvajanje stražnje ploče je visoka temperatura raspršivanja, a stražnja meta je sklona oksidaciji i savijanju.Materijal mete će puknuti tijekom raspršivanja na visokoj temperaturi, uzrokujući odvajanje stražnje mete;2. Struja je previsoka i provođenje topline je prebrzo, što uzrokuje previsoku temperaturu i topljenje lema, što rezultira neravnomjernim lemljenjem i odvajanjem stražnje mete;3. Temperatura izlaza cirkulirajuće rashladne vode treba biti niža od 35 stupnjeva Celzijusa, a visoka temperatura cirkulirajuće vode može uzrokovati slabo odvođenje topline i odvajanje;4. Gustoća samog ciljanog materijala, kada je gustoća ciljanog materijala vrlo visoka, nije ga lako adsorbirati, nema praznina, a stražnji cilj je lako otpasti.


Vrijeme objave: 12. listopada 2023