Cilj ima široko tržište, područje primjene i veliki razvoj u budućnosti.Kako bismo vam pomogli da bolje razumijete funkcije cilja, ovdje u nastavku RSM inženjer će ukratko predstaviti glavne funkcionalne zahtjeve cilja.
Čistoća: čistoća je jedan od glavnih funkcionalnih pokazatelja mete, jer čistoća mete ima veliki utjecaj na funkciju filma.Međutim, u praktičnoj primjeni, zahtjevi čistoće mete također su različiti.Na primjer, s brzim razvojem industrije mikroelektronike, veličina silicijske pločice je proširena sa 6 "na 8" na 12", a širina ožičenja smanjena je s 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um ili čak 0,13 um.Prethodno, 99,995% ciljane čistoće može zadovoljiti zahtjeve procesa od 0,35 um, dok priprema linija od 0,18 um zahtijeva 99,999% ili čak 99,9999% ciljane čistoće.
Sadržaj nečistoća: nečistoće u ciljanim krutinama te kisik i vodena para u porama glavni su izvori onečišćenja taloženih filmova.Mete za različite namjene imaju različite zahtjeve za različite sadržaje nečistoća.Na primjer, mete od čistog aluminija i aluminijskih legura koje se koriste u industriji poluvodiča imaju posebne zahtjeve za sadržaj alkalnih metala i radioaktivnih elemenata.
Gustoća: kako bi se smanjile pore u ciljnoj krutini i poboljšala funkcija prskajućeg filma, cilj obično mora imati visoku gustoću.Gustoća mete ne utječe samo na brzinu raspršivanja, već također utječe na električne i optičke funkcije filma.Što je veća ciljna gustoća, to je bolja funkcija filma.Osim toga, gustoća i čvrstoća mete su poboljšane tako da meta može bolje prihvatiti toplinski stres u procesu raspršivanja.Gustoća je također jedan od ključnih funkcionalnih pokazatelja mete.
Vrijeme objave: 20. svibnja 2022