Što su mete za raspršivanje?Zašto je cilj tako važan?

U industriji poluvodiča često se koristi termin za ciljne materijale, koji se mogu podijeliti na materijale za pločice i materijale za pakiranje.Materijali za pakiranje imaju relativno niske tehničke barijere u usporedbi s materijalima za proizvodnju vafla.Proces proizvodnje pločica uglavnom uključuje 7 vrsta poluvodičkih materijala i kemikalija, uključujući jednu vrstu materijala za raspršivanje.Što je ciljni materijal?Zašto je ciljni materijal tako važan?Danas ćemo govoriti o tome što je ciljni materijal!

Što je ciljni materijal?

Jednostavno rečeno, ciljni materijal je ciljni materijal bombardiran nabijenim česticama velike brzine.Zamjenom različitih materijala meta (kao što su aluminij, bakar, nehrđajući čelik, titan, mete od nikla, itd.), mogu se dobiti različiti sustavi filmova (kao što su supertvrdi, otporni na habanje, antikorozivni legirani filmovi itd.).

Trenutno se materijali (čistoće) za raspršivanje mogu podijeliti na:

1) Metalne mete (čisti metalni aluminij, titan, bakar, tantal itd.)

2) Mete od legure (legura nikla i kroma, legura nikla i kobalta, itd.)

3) Keramičke složene mete (oksidi, silicidi, karbidi, sulfidi, itd.).

Prema različitim prekidačima, može se podijeliti na: dugu metu, kvadratnu metu i kružnu metu.

Prema različitim područjima primjene, može se podijeliti na: mete za poluvodičke čipove, mete za ravne zaslone, mete solarnih ćelija, mete za pohranu informacija, modificirane mete, mete elektroničkih uređaja i druge mete.

Gledajući ovo, trebali ste steći razumijevanje meta za prskanje visoke čistoće, kao i aluminija, titana, bakra i tantala koji se koriste u metalnim metama.U proizvodnji poluvodičkih pločica, aluminijski postupak obično je glavna metoda za proizvodnju pločica od 200 mm (8 inča) i niže, a ciljni materijali koji se koriste uglavnom su aluminijski i titanijski elementi.Proizvodnja pločica od 300 mm (12 inča), uglavnom korištenjem napredne tehnologije međusobnog spajanja bakra, uglavnom korištenjem bakrenih i tantalnih meta.

Svatko bi trebao razumjeti koji je ciljni materijal.Sve u svemu, sa sve većim rasponom primjena čipova i sve većom potražnjom na tržištu čipova, definitivno će doći do povećanja potražnje za četiri glavna metalna materijala tankog filma u industriji, naime aluminij, titan, tantal i bakar.I trenutno ne postoji drugo rješenje koje može zamijeniti ova četiri tankoslojna metalna materijala.